卓上型電子顕微鏡

機関・施設 沖縄県工業技術センター
利用タイプ 利用可能機器・設備
メーカー (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 TM3030
仕様 倍率:15~30,000
最大試料寸法:φ70mm、厚さ50mm
検出可能元素:B(5)~Am(95)
概要 電子線を試料表面に走査し、電子、電磁波を検出して画像化する装置です。EDXを搭載しており、観察と同時に試料表面の分析も行えます。
詳細ページ・問い合わせ先 https://www.pref.okinawa.jp/shigoto/kenkyu/1011573/index.html
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